扫描电子显微镜

主要规格及技术参数

工作条件

1.1电源：能在220V±10％，50Hz，30A供电条件下连续工作。仪器设备的插头应符合中国国家标准，否则应提供适合仪器插头的插座；

1.2环境：能在15～25℃，相对湿度小于60％环境下运行。

2.设备组成

2.1 扫描电镜主机主要构成:

2.1.1扫描电镜基本单元

2.1.2二次电子探测器

2.1.3背散射电子探测器

2.1.4计算机控制单元

2.1.5 23寸LCD触控显示器

2.2自动稳压电源:1套

2.3一体化电制冷能谱仪

2.4离子溅射仪

3指标要求

3.1分辨率

3.1.1二次电子分辨率：3.0nm (30kV) ,8nm(3kV)，15nm (1kV)

3.1.2背散射电子分辨率：4.0nm(30KV)

3.1.3放大倍率5X - 300,000X（128 X96mm实放大倍率条件下）

3.2真空系统

3.2.1高真空模式：真空度10^-4Pa

3.2.2全自动电磁阀门，无须空气压缩机

3.2.3采用二级真空系统：机械泵、分子泵，均必须原装进口

3.3电子光学系统

3.3.1电子枪 工厂预对中设计，采用无缝自给偏压技术

3.3.2电子枪自动功能：具有自动加热、自动对中、自动饱和度调整功能

3.3.2聚光镜 采用自动可变焦聚光镜

3.3.3光阑 三级可调物镜光阑

3.4图像电位移±50µm

3.5样品室和样品台

3.5.1最大样品直径：200mm，可完全观察178mm

3.5.2样品交换方式：大开门式，无需氮气保护

3.5.3样品台：优中心全对中样品台,具有五轴马达驱动功能

3.5.4样品台移动速度：不低于3mm/s

3.5.5最大样品重量：2kg可倾斜90°

3.5.6样品台行程：行程X：125mm,Y：100mm,Z：80mm;倾斜-10°至+90°旋转360°

3.5.7具有超规格样品限位功能。

3.5.8具有自动导航功能。

3.6探测器及成像系统

3.6.1二次电子探测器:可形成二次电子像

3.6.2环形及方形高灵敏度背散射电子探测器:可形成成分像、形貌像和阴影像

3.6.3成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像，两种图像任意比例混合像，三种图像方便进行对比。

3.6.4图像测量软件：包括垂直,水平,对角，任意2点间距离，直径, 2个圆中心间距离，角度，圆和多角形

3.6.5具有Charge Free不导电样品扫描模式，可将样品受到电子束的损伤和电荷积累降到最低

3.6.6 23英寸触控LCD控制，win7系统 最大像素不低于5120×3840

3.7 X射线能谱仪（制造厂家最好与电镜厂家相同）：

3.7.1具有一体化能谱仪设计，一台电脑即可完成图像拍摄及元素分析功能

3.7.2能量分辨率：129eV

3.7.3元素分析范围：B-U

3.7.4有效探测面积：不小于30mm²

3.7.5采用SDD电制冷技术，无需液氮

3.8进口离子溅射仪

主要功能及特色

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。