【设备介绍】

蔡司EVO10是一款高性能钨灯丝扫描电子显微镜，其核心特点是兼顾了纳米级的高分辨率与大样品处理能力。它提供最高3.0纳米的分辨率，可容纳直径230毫米的样品。通过触摸界面简化了从样品导航到图像采集的流程，标配了二次电子和背散射电子探测器，能广泛用于材料科学、工业检测等领域的微观形貌观察和成分分析。

【设备参数】

电子光学系统 电子枪：钨灯丝

分辨率：≥3.0nm @ 30 kV，≥8.0nm @ 3 kV（高真空二次电子像）

加速电压：0.2 - 30 kV，10V步进可调

放大倍数：7 – 1,000,000倍

探针电流：0.5 pA – 5 μA

样品室与样品台 样品室尺寸：≥Ø310mm × 220mm

最大样品尺寸：Ø230mm，高100mm

样品台：五轴全自动马达驱动（X=80mm, Y=100mm, Z=35mm，倾斜-10°~90°，360°旋转）

最大承重：5kg

真空系统 系统：涡轮分子泵+机械泵

样品室真空度：优于6×10⁻⁴ Pa

抽真空时间：≤3分钟

探测器与成像标配：样品室二次电子探测器、背散射电子探测器

样品观察：原装红外CCD相机，实时观测仓内状态

图像存储：单幅最大分辨率32k×24k像素

能谱仪(EDS)选配元素范围：Be⁴ — Am⁹⁵（含B/C/N等轻元素）